匀胶机、显影机、全息光栅匀胶机、全息光栅显影机、全自动匀胶显影机、半自动匀胶机、半自动显影机

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小型精密狭缝涂布机

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<p><span style="font-size: 14px;">高精度狭缝式涂布机是在不同刚性或柔性基材上制备涂布工艺的理性选择。无论是需要进行纳米级及亚微米级功能</span></p>
废气处理

新开发设备

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<p><span style="color: rgb(255, 0, 0); font-family: SourceHanSansCN-Regular; font-size: 12px; text-wrap: wrap;">废气处理设备生产加工，可以到现场测量定制<br/>处理极别选配<br/>直径及高度可订制</span></p>
半导体晶圆清洗机

新开发设备

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<p><span style="font-family: SourceHanSansCN-Regular; font-size: 12px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); color: rgb(0, 0, 0);">基本尺寸规格：4/6/8寸标准晶圆，晶圆厚度80-100um<br/>RCW清洗设备的生产<br/><span style="background-color: rgb(255, 255, 255); font-size: 12px; text-wrap: wrap; font-family: 华文中宋;">APM1#液去表面颗</span></span></p>
冷板热板一体机

新开发设备

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<p><span style="font-family: SourceHanSansCN-Regular; font-size: 12px; text-wrap: wrap; color: rgb(255, 0, 0);">冷热板烘烤单元－爱姆加制造<br/>两个单元也可以分开，同时对尺寸可选配<br/>冷板与热板指标也可选高温等要求。<br/></span></p>
热板炉 M+HP200

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<p><span style="font-family: SourceHanSansCN-Regular; font-size: 12px; text-wrap: wrap; color: rgb(255, 0, 0);">主要用半导体工艺生产中烘烤晶圆等(如:涂胶/显影/光刻等工艺之后的烘烤)</span></p>
全自动匀胶显影机

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<p><span style="color: rgb(255, 0, 0);"><span style="font-family: SourceHanSansCN-Regular; font-size: 12px; text-wrap: wrap;">设备实现2"-12"晶圆兼容</span><br style="font-size: 12px; text-wrap: wrap; color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; background-color: rgb(255, 255, 255);"/><span style="font-family: SourceHanSansCN-Regular; font-size: 12px; text-wrap: wrap;">      涂胶、显影</span></span></p>
超声波喷雾涂胶机

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<p><span style="font-family: SourceHanSansCN-Regular; font-size: 12px; text-align: justify; text-wrap: wrap; color: rgb(255, 0, 0);">喷雾式涂布机主要用于开发研究和各种半导体器件（MEMS)和微机<br/>械，超声的频率可调；XY速度-旋转角度</span></p>

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