自动匀胶机-爱姆加设备制造公司

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废气处理

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半导体晶圆清洗机－WET BENCH

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<p>RCW<br/></p>
冷板热板一体机

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<p>冷热板烘烤单元－爱姆加制造</p>
热板炉 M+HP200

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<p><span style="font-size: 14px;">主要用途: <br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>主要用半导体工艺生产中烘烤晶圆等(如:涂胶/显影/光刻等工艺之后的烘烤)</span></p>
全自动匀胶显影机

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<p><span style="font-size: 14px;">产品特点： <br style="color: rgb(134, 134, 134); font-family:;" microsoft=""/>      设备实现2"-12"晶圆兼容<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      涂胶、显影模块自带暂停/恢复功能<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      设备和各工位全封闭设计，不受外环境干扰<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      可独立增加层流罩，提升小环境洁净度<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      干湿分离，电液分隔<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      维护省力、简便</span></p>
超声波喷雾涂胶机

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<p><span style="font-size: 14px;">用途：</span></p><p><span style="font-size: 14px;">喷雾式涂布机主要用于开发研究和各种半导体器件（MEMS)和微机械。对应于超厚膜涂层，它是很难通过常规的旋涂机微粒的化学溶液，以使通过的特殊定制的喷雾喷嘴水平薄涂层。</span></p><p><br/></p><p><br/></p>

共 6 条记录1

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