自动匀胶显影机
使用范围：
pumping高端封装、3D-TSV、MEMS、OLED等领域PR工艺涂胶胶显影；
产能：预估100wafer/H;
产品种类：晶片如硅、玻璃片、键合片、化合物产品、逻辑类、存储类芯片、
摄像头芯片、功率器件芯片、OLED领域。