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自动匀胶显影机使用范围:pumping高端封装、3D-TSV、MEMS、OLED等领域PR工艺涂胶胶显影;产能:预估100wafer/H;产品种类:晶片如硅、玻璃片、键合片、化合物产品、逻辑类、存储类芯片、摄像头芯片、功率器件芯片、OLED领域。
全自匀胶显影技术指标:
1、Camber根据用户要求可选配
2、主轴速度:50-6000rpm
3、THC&FFU等功能
4、EBR&BSR功能
5、PR数量可选配(标配2路)