12英寸自动匀胶显影机－爱姆加电子
发布时间: 2020-03-24 17:23
Pumping封装、3D-TSV、MEMS、OLED等领域PR工艺涂胶胶显影
Wafer Size: 12英寸全自动匀胶显影一体机
设备和各工位全封闭设计，不受外环境干扰
晶圆涂胶（SPIN COATING）-显影模
(SPIN DEV)-OVEN单元（冷热板及增粘功能可选）
同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行
自带暂停/恢复功能,以及故障排除功能，排风自动调节（可选）
自动匀胶显影机
使用范围：
pumping封装、3D-TSV、MEMS、OLED等领域PR工艺涂胶胶显影；
产能：预估100wafer/H;
产品种类：晶片如硅、玻璃片、键合片、化合物产品、逻辑类、存储类芯片、
摄像头芯片、功率器件芯片、OLED领域。
· 全自匀胶显影技术指标：
· 1、Camber根据用户要求可选配
· 2、主轴速度:50-6000rpm
· 3、THC&FFU等功能
· 4、EBR&BSR功能
· 5、PR数量可选配（标配2路）
