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半自动涂胶显影机-爱姆加电子
    发布时间: 2020-03-25 09:51    

特点:
手动上下取片
自动滴胶、甩胶、匀胶
供胶系统
排风系统
可配EBR&BSR功能

     
半自动涂胶显影机  型号:M+150D
            • 适用用圆片尺寸: 2”、3”、4”;以及5x5,10x10,25x25方片
            • 工艺工步:放置圆片(可辅助定中心)    启动    防溅罩到上位    真空吸片   防尘帽闭合   电机启动    吹氮气    低速滴胶    加速、高速匀胶     上刮边    下刮边
            • 电机停止    防尘帽开启    防溅帽到下位    去真空、卸片(工艺结束)以上各工步流程为自动执行,其中防尘帽、防溅帽、真空具有手动功能;
            • 主轴径向跳动≤0.02mm,轴向窜动≤0.04mm;
            • 主轴转速:200~7000转/分,误差±20转/分,连续可调;
            • 主轴加速度(空载):0~3×10³rad/秒²,连续可调; 
            • 工艺工步时间:0~999.9秒,设定增量±0.1秒;
            • 胶泵最大排出量:80立方厘米,滴胶量和速度可调;
            • 适用胶液粘度范围:-4~10000 厘施;
            • 主要指标检测方法;
            • 主轴径向跳动及轴向窜动用百分表检查;
            • 主轴转速用转速表检测,主轴加速度用记忆示波器检测;
            • 两头滴胶量应基本一致,用目测无明显差异;
            • 各气路、液路应密封可靠,无泄露现象;
            • 操作、观察各机械、电器操作件及按键应灵活可靠,各显示应准确无误;
            • 外观目视应平整、光滑,表面涂层不允许有脱落、破损等情况;
            • 设备干运行16小时,湿运行16小时(转速3500r/m)。结束后取下四氟密封套观察其磨损情况。如有磨损应及时检查原因并进行更换。
            • 接地可靠。