自动QD喷涂机，主要用于在晶圆表面喷涂甲苯、正己烷、UV液体，设备腔体密封，注入相应压力流量的氮气，氮气需循环排放过滤使用。

设备主要由升降片盒（两个片盒平台）、中间布局机器人（负责晶圆的传输）、喷涂单元（配四套胶套－承片台自动旋转）、清洗单元（CUP自动升降）、自动加液、流速控制系统、控制系统及排液系统、配手气操箱的检测部份装置等组成，整机采用框架结构，外表为优质不锈钢护板，工作方式为自动上下片，自动完成喷胶、清洗、传输到检测区的工艺。喷涂工艺流程：取片-对中-喷涂-见氧-清洗-排出。

一、片盒介绍

1.片盒单元加有密闭的缓冲腔体，每个部件都能承受氮气与真空的条件，以及可手动打开后，按启动按钮完成腔体的排氧及进氮功能;

2.组成部份：升降固定板、片盒升降板、导杆、导线杆、电缸片盒板、片盒挡条、挡块、卡条、按钮传感器;

二、机械手介绍

机械手单元主要用于在各单元间传送晶片。采用高精度伺服电机控制同步带驱动机械手，以满足机械手定位精度。保证晶圆对中准确，不影响工作。机械手负责晶圆传输工作，从片盒到喷涂单元，再从喷涂单元到清洗单元，同时从清洗单元再传输到检测区的片盒中，这个工艺顺序是可以根据工艺菜单编辑；机械手单元主要用于在各单元间传送晶片。采用高精度伺服电机控制同步带驱动机械手，以满足机械手定位精度。保证晶圆对中准确，不影响工作。

三、喷胶单元

（1） 四个二流体喷头，四路供液系统，每一路都可以单独开启关闭，每一路加流量监控，磁力流量计加传感器。气路加流量计与润湿功能。

（2） 喷头流量范围：1～30ml/min，流量在屏幕界面可以自由设置；

（3） 配置一个喷涂坐标校准和预扫描功能（光打点定位辅助设定喷涂坐标）；

（4） 腔体外配置脚踏板开关：用于手动操作时喷涂单元真空和腔体排气的开关。真空脚踏板为点动开启，点动关闭，排气脚踏板为踩下时排气，脚松时停止排气；

（5） 调频风泵和手动调节蝶阀控制喷涂作业时气体循环；

（6） 喷头雾化N2气路和其他N2配置为独立的厂务接口；

（7） 腔体外配置排废阀和废液桶收集废液；

四、清洗系统

         清洗单元主要用于单片的清洗功能，喷嘴也有加自动升降及旋转功能，同时CUP实现升降功能，以便于取放晶圆；液体自动供给，真空吸附基片。CUP有防溅及排液功能，排液留有球阀控制；主轴转速可调调控。CUP材料为PP材质，同时液体有排液桶及报警功能，以便于处理液体。