（1） 二流体扇面喷头：自动摆动旋转喷液加背洗功能，两路液体加流量计。

（2） 旋转电机：转速要求：0~5000rpm，旋涂步骤、旋涂速度、加速度可自由编辑

（3） 腔体内配置手动开启清洗程序按钮（带防误触盖子）

（4） 腔体外配置脚踏板开关：开关清洗单元真空的脚踏板开关，点动开启，点动关闭

（5） 腔体外配置排废阀和废液桶收集清洗后的废液（和喷涂单元废液桶分开）。