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主要特点:
高性能,低成本,手动型桌面旋涂机
旋涂与微机控制功能(旋涂、停止、斜坡加速、减速)
高旋转精度±1RPM(无负载)
多功能工艺参数、工步设置
适用各种不同的大小和形状的基片,通过改变CHUCK实现编程简单易操作。
#爱姆加电子设备