M+M100S－HC属专用喷胶设备，主要用于在晶圆表面喷涂甲苯、正己烷、UV液体，设备腔体密封，注入相应压力流量的氮气，氮气需循环排放过滤使用。

设备主要由旋转热板系统、喷嘴扫描系统、流速控制系统、控制系统及排液系统等组成，整机采用框架结构，外表为不锈钢护板，工作方式为手动上下片，自动完成喷胶工艺。