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剥离-LIFT OFF去胶工艺中的化学药液
化学药业,高压供给药业,高温药业,清洗剂,去胶工艺
来源: | 作者:pmoe2a7d5 | 发布时间: 2024-01-04 | 2464 次浏览 | 分享到:

全自动剥离机

剥离(lift off)适应化学药液——NMP是N-甲基吡咯烷酮,一种有机物。是高压供给药液,高温药液。避免暴露,密封保存。优良高级溶剂,是选择性强和稳定性好的极性溶剂。高精密电子、电路板、锂电池的优良清洗剂。

NMP液体--高温高压  DMSO液体--高温高压去胶剥离机
半导体工艺中的撕金剥离工艺
功能有:浸泡槽-高压腔-清洗腔
浸泡槽功能有:加热-超声-晃动功能
高压腔:在线加热,常压喷嘴
清洗腔:可选超声波功能,BRUSH功能

拓展小知识——Auto Strip-自动剥离机产品特点:


线性布局,自动传片,自动完成去胶工艺。
晶圆尺寸根据用户需求。
腔体共有三层,每层都有单独的药液排放 循环功能。
清洗多种金属颗粒和有机物残留。
药液在循环中,根据颗粒大小配备相应过滤系统。
药液恒温,或在线加热供给功能。

一、适应的药液有以下几种:

NMP液体--高温高压

DMSO液体--高温高压

IPA液体

DI-water

二、功能选择:

片盒到片盒

进口机械手

CHAMBER采用耐酸碱材质

分层药液排放,省液,提供了生产率

自动供液、补液。