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自动QD喷涂设备
量子点专用喷胶设备,主要用于在晶圆表面喷涂甲苯,设备密封;

同时可喷涂四个基片,相不污染。自动运行完成喷胶工艺。

设备主要由旋转热板系统、喷嘴扫描系统、流速控制系统、控制系统及排液系统等组成。
来源: | 作者:pmoe2a7d5 | 发布时间: 2024-01-11 | 631 次浏览 | 分享到:

自动QD喷涂机,主要用于在晶圆表面喷涂甲苯、正己烷、UV液体,设备腔体密封,注入相应压力流量的氮气,氮气需循环排放过滤使用。

设备主要由升降片盒(两个片盒平台)、中间布局机器人(负责晶圆的传输)、喷涂单元(配四套胶套-承片台自动旋转)、清洗单元(CUP自动升降)、自动加液、流速控制系统、控制系统及排液系统、配手气操箱的检测部份装置等组成,整机采用框架结构,外表为优质不锈钢护板,工作方式为自动上下片,自动完成喷胶、清洗、传输到检测区的工艺。喷涂工艺流程:取片-对中-喷涂-见氧-清洗-排出。

一、片盒介绍

1.片盒单元加有密闭的缓冲腔体,每个部件都能承受氮气与真空的条件,以及可手动打开后,按启动按钮完成腔体的排氧及进氮功能;

2.组成部份:升降固定板、片盒升降板、导杆、导线杆、电缸片盒板、片盒挡条、挡块、卡条、按钮传感器;

二、机械手介绍


机械手单元主要用于在各单元间传送晶片。采用高精度伺服电机控制同步带驱动机械手,以满足机械手定位精度。保证晶圆对中准确,不影响工作。机械手负责晶圆传输工作,从片盒到喷涂单元,再从喷涂单元到清洗单元,同时从清洗单元再传输到检测区的片盒中,这个工艺顺序是可以根据工艺菜单编辑;机械手单元主要用于在各单元间传送晶片。采用高精度伺服电机控制同步带驱动机械手,以满足机械手定位精度。保证晶圆对中准确,不影响工作。

三、喷胶单元

(1) 四个二流体喷头,四路供液系统,每一路都可以单独开启关闭,每一路加流量监控,磁力流量计加传感器。气路加流量计与润湿功能。

(2) 喷头流量范围:1~30ml/min,流量在屏幕界面可以自由设置;

(3) 配置一个喷涂坐标校准和预扫描功能(光打点定位辅助设定喷涂坐标);

(4) 腔体外配置脚踏板开关:用于手动操作时喷涂单元真空和腔体排气的开关。真空脚踏板为点动开启,点动关闭,排气脚踏板为踩下时排气,脚松时停止排气;

(5) 调频风泵和手动调节蝶阀控制喷涂作业时气体循环;

(6) 喷头雾化N2气路和其他N2配置为独立的厂务接口;

(7) 腔体外配置排废阀和废液桶收集废液;

四、清洗系统

         清洗单元主要用于单片的清洗功能,喷嘴也有加自动升降及旋转功能,同时CUP实现升降功能,以便于取放晶圆;液体自动供给,真空吸附基片。CUP有防溅及排液功能,排液留有球阀控制;主轴转速可调调控。CUP材料为PP材质,同时液体有排液桶及报警功能,以便于处理液体。