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适应尺寸：200mm×200mm t=1-8mm以下方形基片-具有旋涂、匀胶、清洗、吹氮功能
型号：Ｍ+-DS200C 主要特点： 适应尺寸：200mm×200mm t=1-8mm以下方形基片 具有旋涂、匀胶、清洗、吹氮功能 主轴采用德国进口电机及部件 电机精度±1RPM FFU功能（可选） 型号：Ｍ+-DS200C 主要特点： 适应尺寸：200mm×200mm t=8mm以下方形基片具有旋涂、匀胶、清洗、吹氮功能主轴采用德国进口电机及部件调整±1RPMFFU功能（可选）
型号：Ｍ+-DS200C 主要特点： 适应尺寸：200mm×200mm t=1-8mm以下方形基片 具有旋涂、匀胶、清洗、吹氮功能 主轴采用德国进口电机及部件 电机精度±1RPM FFU功能（可选）
型号：Ｍ+-DS200C 主要特点：
适应尺寸：200mm×200mm t=8mm以下方形基片
具有旋涂、匀胶、清洗、吹氮功能
主轴采用德国进口电机及部件
调整±1RPM
FFU功能（可选）
