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型号:M+-DS200C 主要特点:适应尺寸:200mm×200mm t=1-8mm以下方形基片具有旋涂、匀胶、清洗、吹氮功能主轴采用德国进口电机及部件电机精度±1RPMFFU功能(可选)
型号:M+-DS200C 主要特点: 适应尺寸:200mm×200mm t=8mm以下方形基片具有旋涂、匀胶、清洗、吹氮功能主轴采用德国进口电机及部件调整±1RPMFFU功能(可选)
型号:M+-DS200C 主要特点:
适应尺寸:200mm×200mm t=8mm以下方形基片具有旋涂、匀胶、清洗、吹氮功能主轴采用德国进口电机及部件调整±1RPMFFU功能(可选)
适应尺寸:200mm×200mm t=8mm以下方形基片
具有旋涂、匀胶、清洗、吹氮功能
主轴采用德国进口电机及部件
调整±1RPM
FFU功能(可选)