产品特点： 
　   同一设备实现2"-12"晶圆
　   涂胶、显影模块自带暂停/恢复功能
　   同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行
　   设备和各工位全封闭设计，不受外环境干扰
　   可独立增加层流罩，提升小环境洁净度
　   干湿分离，电液分隔
　   维护省力、简便