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全自动匀胶显影机
    发布时间: 2020-03-24 16:35    

产品特点: 
    同一设备实现2"-12"晶圆
    涂胶、显影模块自带暂停/恢复功能
    同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行
    设备和各工位全封闭设计,不受外环境干扰
    可独立增加层流罩,提升小环境洁净度
    干湿分离,电液分隔
    维护省力、简便