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大尺寸匀胶机
发布时间: 2020-04-08 08:14
此设备适应于方形基片尺寸为□1500×1200×8-20mm(厚度范围:8.-20mm)的玻璃基片匀胶
工艺,手动放置基片,自动完成基片甩胶、匀胶工艺。
超大尺寸匀胶设备 M+/1500-C,主要用于完成基片光阻涂布工艺。设备可分别配置主轴旋转装置、 光阻供液系统(腔体清洗液)、排风系统、上料装置、控制部份等;设备具有如下特点: 占地面积相对较小,适应范围广。 具备故障诊断,历史记录追忆功能。 操作界面简捷,配方编制、储存、编辑、调用灵活。 整机采用框架结构,工作方式为手动上下基片,自动完成边缘清洗工艺。 设备依 GB/T19001-2008 ;GB/T24001-2004;GB/T28001-2001;SEMI SⅡ标准制造。
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