线性布局，自动传片，自动完成去胶工艺。
晶圆尺寸根据用户需求。
腔体共有三层，每层都有单独的药液排放 循环功能。
清洗多种金属颗粒和有机物残留。
药液在循环中，根据颗粒大小配备相应过滤系统。
药液恒温，或在线加热供给功能。

一、适应的药液有以下几种：

NMP液体--高温高压

DMSO液体--高温高压

IPA液体

DI-water

二、功能选择：

片盒到片盒

进口机械手

CHAMBER采用耐酸碱材质

分层药液排放，省液，提供了生产率

自动供液、补液。