此设备主要由片盒站、传送机器人、匀胶/显影单元、烘烤单元（HMDS模块、热板模块、冷板模块）部份附件以及控制系统组成。

匀胶单元(SPIN COT UNIT)：

1.根据工艺选配数量(COT-DEV-OVEN-HMDS)

2.EBR&BSR 功能可选

显影单元(DEV UNIT)：

根据工艺选配数量可选

热板烘单元(OVEN UNIT)：

根据工艺选配数量

供液系统：胶路，显影均匀选配