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爱姆加电子设备
匀胶显影蚀刻专业生产商



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专注成就品质,品质塑造未来!
Focus on the achievement of quality, quality to shape the future!
spin coating&spin developer
    发布时间: 2020-08-03 14:54    

此设备主要由片盒站、传送机器人、匀胶/显影单元、烘烤单元(HMDS模块、热板模块、冷板模块)部份附件以及控制系统组成。

旋转系统           1

电机 :               1

额定转速:             06000rpm连续可调

转速最小调整量:       1rpm

转速精度:             ±1rpm506000rpm

承片台                   1
晶片接触方式 :        真空吸附
材料:                  PEEK

收集杯材质:        PP(聚丙烯