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半自动显影机
    发布时间: 2020-07-31 10:27    

主要组成部分:

该设备主要由主轴单元、显影液供给系统(附加恒温装置)、清洗系统、控制系统等组成,采用框架结构,外表为优质不锈钢镜面护板,无发尘量且不吸浮尘颗粒,工作方式为手动上下片,自动完成显影、清洗、(氮气吹干)等工艺。


显影单元参数:   
离心机
额定转速(德国):    05000rpm
转速最小调整量:     1rpm
转速精度:           ±1rpm500~300rpm
加速度:             最大20000rpm/s
加速度最小调整量:   1RPM/S
承片台(chuck)
材料:   防静电PEEK材质(两个)
晶片接触方式 :   真空吸附
吸附真空度检测:    数显压力传感器