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手动上下片-自动完成滴胶-甩胶-匀胶等工艺 UP COVER依据基片形状可选光刻胶供液系统：可选EBR清洗功能：可选BSR背洗功能P：可选
设备特点： 1、手动上下取片 2、自动完成滴胶、甩胶、匀胶等工艺 3、自动供胶系统，可根使用的胶粘度分别配备不同的PUMP 4、EBR&BSR功能可选配适用圆片尺寸: 2”、3”、4”；以及5x5,10x10,25x25方片主轴转速：200～7000转/分，误差±20转/分,连续可调；主轴加速度（空载）：0～3×10³rad/秒²，连续可调； 工艺工步时间：0～999.9秒，设定增量±0.1秒；
设备特点： 1、手动上下取片 2、自动完成滴胶、甩胶、匀胶等工艺 3、自动供胶系统，可根使用的胶粘度分别配备不同的PUMP 4、EBR&BSR功能可选配
适用圆片尺寸: 2”、3”、4”；以及5x5,10x10,25x25方片
主轴转速：200～7000转/分，误差±20转/分,连续可调；
主轴加速度（空载）：0～3×10³rad/秒²，连续可调； 工艺工步时间：0～999.9秒，设定增量±0.1秒；
