用途：主要用于光阻涂胶工艺，原理是借用于液体的涨力原理进行弯月牙涂胶，主要装置就液刀口溢出的光阻涂布在基板表面。

一、产品使用范围：                                          

 • 弯月牙涂胶基板尺寸：1400 mm×420 mm×200 mm)； 

 • 液体胶刀的有效尺寸为：420mm： 

 二、设备概述：此胶狭缝系统包括供胶系统、精密胶刀、平面度调节机构、胶盒移动等部件组成。       

 • 供胶系统：伺服电机带动磁力泵供给胶刀，回流过滤循环供给，胶泵采购进口压力流量可调的磁力泵。 

 •  精密胶刀：胶刀出液狭缝可调，可适应100CP-200CP的光阻药液。同时出液的高度（0.15-0.25mm）通过调整泵的供压力及狭缝配合来调 

 • 面度调节机构：胶刀与胶盒的平行度可通过胶盒内的螺钉进行调平，胶刀与连接平面也可调整，胶刀与基板的平面通过机械方式也可调整。 

 • 利用电磁阀及气缸来实现胶盒盖的上下、左右方向的移动。

三、设备控制设计：          

 • 供泵系统胶泵为伺服电机，胶泵的压力、流速通过调节电机的转速控制。

 •  胶盒盖通过气缸控制+电磁阀（气缸都装有上下，左右位置检测传感器）。 

 •  基板移动加有接近开关（主要用于检测基板是否移过）。