对于大批量生产的用的匀胶显影机的ＯＶＥＮ单元，为什么在硅晶圆等基片与热板是非接触的，这样的设计的理念是有一定的科学依据的，热的传递方式无非就三种：传导、辐射、对流等方式，非接触实现了最后两种科学经验，对于热板的均匀性有大大的提高，所以对晶圆的烘烤均匀性好！