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旋转涂覆与狭缝涂胶的对比
来源: | 作者:pmoe2a7d5 | 发布时间: 2020-03-27 | 2351 次浏览 | 分享到:
匀胶机(spin coater)旋转涂覆与狭缝(slit coater)涂胶的对比: A:旋转涂覆技术所使用的设备是匀胶机。匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。 从其原理来说,匀胶机有以下两个特点。 (1)旋转速度 转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。目前转速控制方面有国际认定标准,如美国NIST标准等。 (2)真空吸附系统 真空泵一般采用无油泵,即通常说的干泵,因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴的胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。有的匀胶机通过联动机制,当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎进入真空管道系统。 B: 狭缝式涂布(Slot Die Coating)是一种高精密的涂布方式,适用于有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等基材的涂布,非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布,也应用于光学膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜等)、OLED涂布等。 狭缝涂布技术适用于各种涂布液,可广泛应用于不同基材表面的涂布,如玻璃,不锈钢和塑料基片 涂布模具相对于基片精确地运动,并精确检测控制工艺流体及其涂布速度。

匀胶机(spin coater)旋转涂覆与狭缝(slit coater)涂胶的对比:
A:旋转涂覆技术所使用的设备是匀胶机。匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
从其原理来说,匀胶机有以下两个特点。
(1)旋转速度