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全息光栅方形基片涂胶机
    发布时间: 2020-03-25 09:58    

方形基片匀胶机主要用于完成方形基片(全息光栅涂胶机)
大尺寸玻璃片匀胶机、方形基片显影机等匀胶、显影、清洗工艺
大尺寸的玻璃以及厚度在20MM以内的基片
光刻胶及化学药液的供给系统可选

全息光栅方形基片涂胶机

 方形基片匀胶机,型号M+/C450-40,主要用于完成方形基片(全息光栅涂胶机)、大尺寸玻璃片匀胶机、方形基片显影机等匀胶、显影、清洗工艺

玻璃片尺寸wafer size: 500×500×50mm(10-50mm);

方便手动放置、提取基片-主轴可做升降运动;

自动完成基片进行滴胶、布胶、匀胶等工艺;

自动送料机构--(可选);

真空系统根据工艺--(可选);
金属外壳材料,镶嵌式固定方式。

         工艺涂布效果图: