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国内好多做全息光栅的,基片都是以方形基板具多,所以想做好方形基片的匀胶也是很难的一件事,全息光栅的匀胶不差于掩膜版制作的匀胶机,所以想好也很难,主要有几个因素:
方形基片四角怎样解决
全息的基板都是较为重量级的,运动惯量怎样匹配
同时也有显影工艺,显影若有槽式,怕过显,用旋转方式重量也是个问题
目前爱姆加公司开发的匀胶、显影也是采用进口超大惯量电机,同时匀胶还需加速度。所以想做一片的光栅设备很重要。国外的JY、麻省理工PEC也有自己的独门专长。全息光栅国内想把它做好,还有一段很长的路。