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SU8光刻胶的匀胶机-爱姆加
高粘度的SU8光刻胶是半导体行业做厚膜的必须负胶,同时它在显影、蚀刻时的CD值方面效果也不错。但是想把SU8涂胶做好可能对设备的要求也相对高一点;爱姆加电子针对于SU8负胶专门开发了一款匀胶机,相对于市场的匀胶机效果也好很多:
SU8的特点:
1、 粘度值高
2、 排风速度不对,起波纹
3、 同时还会产生棉花糖的后果
4、 均匀性值很难做好
5、 本身SU8易产生气泡
针对以下特点,爱姆加公司开发了一款涂SU8的匀胶机。同时欢迎各位同仁多交流