匀胶、刮胶、弯月面涂胶方法的区别

一、旋涂（spin　coater）：

      对于大尺寸的基板是很难实现匀胶的，所以人们想出一种叫刮胶，这种工艺相对比较差点，但对于用户来说，可以满足他们的需求就OK了，所以这种对胶厚及胶膜要求不高的工艺还是可以满足的，同时刮胶的成本相对比较低点（相对于大尺寸），同时国外对于全息光栅的匀胶是很的，所以他们基片是用旋涂的方式，如全球最大ＪＹ的全息光栅，这个公司的光栅也是不便宜的，可是他们目前能做到的尺寸也是很牛的，如现在基片是他们能做到1050×570×50mm的基板尺寸，他们采购是超大的旋涂工艺，因为他们基本上做的全息光栅是用在军工方面，很小在市场上流通，对于他们的技术也是很少在网上能看到，所以他们做一块全息光栅的成本也高，但这个市场的需求很少，同时价格也昂贵，初步预估一块在合人民币在1000万元以下。因为用的玻璃都基本上等同于K9玻璃或高于K9玻璃的质量，所以质量是非常重的，这里面就考虑到了运动惯量的特性，如果一台旋涂机的主轴电机惯量不在匹配的范围内，所以是无法转动起来的。同时安全系数很重要，对是超出１米的直径的基板，旋转起来的的线速度完全是高于我们生活中见的子弹飞的速度还要高，可想安全必须得到保障的。

       但在在咱们国内基片是用的涂胶是刮涂，所以质量也上不去，同时也没有见过国外的涂胶设备，所以还是用最低段的方法，这个完全不能责怪每个搞科研的人员，因为大尺寸基本上用在军工，所以每个国家对这方面是保密或有限制，同时在国内的五大研究所也不会进行技术方面的交流，我们爱姆加公司做到国内相对大尺寸的旋转涂胶机，但是他们对这方面的技术以及工艺等等是不会进行交流的。所以这个科研的成果是不会分享的！

是这全息光栅的旋涂光阻测量设备，同时也带检测，所以这么贵的工件，基本是机械手来实现的。因而配套的装置也是很多，相对成本也很高，在国内的研究机构想申请点项目，就一台旋涂匀胶机把所有的经费用完了，还玩什么。所以用刮胶的相对就多。

二、刮涂设备（Slot Die Coater）：

          国内现在好多大尺寸的都用刮涂设备，因为他们也基本上很小见过大尺寸的旋涂、以及成本等方面的考量，对于刮涂工艺是国内基本上都叫这个名字，但是还有一个术名叫狭缝涂胶机（国外的英语名：Slot Die Coater），不管叫什么名字，原理是一样的，所以这种方种对于部份行业是可用的，同时也完全满足要求，但是相对于半导体、显示器、全息光栅的涂胶工艺是完全不能达到指标了，部份厂商还在用，说明他们的产品质量是无法提高的，也是性能指标不会提高的。刮涂胶的主要的工件是胶刀，日本翻译过来叫液刀，对这个液刀对于清清、吹干的刀，又是完全两个层面的要求，以下是液刀的图片。

还是一个最重要的工件就是运动平台，若你的平面精度达不到，也是很难实现的胶膜的均匀性更好的，这里我们就想一个的真理，好的设备不是一个工件重要，也是每个部件都是很重要的。现在显示屏领域的显示屏生产TFT、OLED也用这种方式， 因为显示器对胶的要求不是很高。

三、弯月面涂胶方式　Meniscus　Coating

     NEW optical coating materials and laser technologies have created a need for large optics with uniform, ultrathin coatings that are applied from liquid solutions. Such devices are used, for example, in high-power laser systems at LLNL and elsewhere. To manufacture these optics, coatings a micron in thickness or less need to be deposited with extreme uniformity—to within a few percent—across the entire clear aperture, which can be on the order of a square meter in size. Micron- and submicron-scale films have been traditionally applied from liquid solutions by spin coating or dip coating. However, spin coating massive optics at the high rates needed to achieve a uniform film is not practical and wastes the coating fluid. Dip coating requires large volumes of expensive coating fluids and risks intercontamination of materials in a multilayer application.

 以下给大家提供的资料是我从国外的一些研发人员手

中得到，也是国外相对于大尺涂胶机的一个新型方法，

他们原理我也不多说，一看就明白，但是对于尺寸的涂胶机来说，他的效果是优于刮胶的，同时胶的厚度也是可以控制的。它也是对平台是很重要，同时胶刀也是它的主要部件，目前咱们国内有两家在使用这样的设备，生产商都出自于爱姆加电子，因为部份关系到保密，很小在网上找到相对的图片与文本资料。所以这个我就不多讲了，只要你们能知道这个方式就ＯＫ了，同时这个方式国外以及在使用。