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三、材料与化学品
Photoresist(光刻胶)——正胶(Positive)/负胶(Negative)
Reticle/Mask(掩模版)——光刻用模板
Silicon Wafer(硅片)——常用尺寸:6英寸、12英寸
Die(芯片)——切割后的单个晶片
Argon(Ar,氩气)/Nitrogen(N2,氮气)——工艺气体
四、质量控制与检测
Yield(良率)——合格芯片比例
Defect(缺陷)——影响良率的异常点
Critical Dimension(CD,关键尺寸)——图形的最小线宽
五、职位与部门
Process Engineer(工艺工程师)——优化制造流程
Equipment Engineer(设备工程师)——维护生产设备
Quality Engineer(质量工程师)——确保产品符合标准
R&D Engineer(研发工程师)——新技术开发
Technician(技术员)——设备操作与维护
六、行业术语与缩略语
CMOA——互补金属氧化物半导体
FinFET——鳍式场效应晶体管
ASIC——专用集成电路
DRAM——动态随机存取存储器
FMEA——故障模式与影响分析
OEE(Overall Equipment Effectiveness)——设备综合效率