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半导体工艺的由来
来源: | 作者:pmoe2a7d5 | 发布时间: 2025-03-28 | 129 次浏览 | 分享到:

  在半导体产业中,制造工程被称为工艺(Process),理由是什么?与其说加工尺寸微小(目前是nm制程),不如说制造过程无法用肉眼看到所致。例如像电视机和汽车这样的组装工程,因为是肉眼可见的,所以不能把制造工程称为工艺。此外,半导体产品还有一个特点,即不是一个一个生产,而是批量生产,之后进行分割。因此,在半导体中,可能比较适合使用具有相对抽象含义的术语“工艺”(Process)。

  半导体工艺包含前段制程和后段制程。这里的前段制程主要是对硅晶圆进行加工,所以也被称为晶圆工艺(Wafer Process)。主要的6个工艺会反复多次进行,可称之为“循环型工艺”。化学工业也常被称为“工艺产业”,也是因为化学产品要经过热分解、聚合、蒸馏等工艺,故而得名。而且同样也是先大量生产,之后进行分装。与此相对应,后段制程包括封装工序,因此称之为从上游到下游的“Flow型工艺”。

  前段制程可以进一步分类为前端(Front-End)和后端(Back-End)。前者主要是形成晶体管等元件,而后者主要是形成布线。而且加工尺寸非常小,只有几十nm(纳米),因此,硅晶圆的洁净度要求变得更加严格,而且对生产设备和晶圆厂(fab)的洁净度也有很高的要求,生产设备的价格也会更加昂贵,晶圆厂建设的投资额也会更加庞大。