光刻胶中的溶剂的种类及作用？

丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA），乙二醇甲醚醋酸酯（EGMEA），1-甲氧基-2-丙酯等。溶剂的作用是溶解光刻胶中的聚合物、感光剂和其他添加剂。使光刻胶形成均匀的液相状态。其次是可以调节光刻胶的粘度。

光刻胶溶剂如何变化？
在旋转涂胶前，光刻胶通常包含65%到85%的溶剂。旋转胶后，溶剂减少到10%到20%，但是胶膜仍处于半液半固体状态。软烘后溶剂的理想量约为4%到7%。由于溶剂在软烘过程中减少，光刻胶膜的厚度也在不断减薄。

光刻胶溶剂为什么会变少？
旋涂过程中，会在晶圆表面和周围产生空气流动，形成层流或湍流。溶剂会不断挥发，导致溶剂量减少。离心力旋涂过程中，由于晶圆的高速旋转，离心力将光刻胶甩向晶圆边缘，同时多余的溶剂被甩出，导致溶剂量减少。

烘烤中溶剂的变化？
加热过程中，光刻胶层中的溶剂吸收热能，其分子运动加剧，蒸汽压升高。当蒸汽压超过大气压时，溶剂分子从液态转变为气态并蒸发。