刻蚀机可根据不同标准分为干法刻蚀机和湿法刻蚀机。湿法刻蚀机是指利用溶液的化学反应来进行蚀刻。湿法刻蚀机通常根据工作方式的不同分为静态刻蚀机和动态刻蚀机。静态刻蚀机使用旋转或振动平台将样品暴露在刻蚀液中，进行慢速腐蚀，适用于刻蚀尺寸较大、较厚的样品。而动态刻蚀机则采用更快地流速，使刻蚀液在样品表面形成更强烈的刻蚀作用，适用于刻蚀尺寸较小、壁