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产品详情
半自动匀胶机 型号:M+150C
特点:
一、手动上下取片
二、自动滴胶、甩胶、匀胶
三、供胶系统
四、排风系统
五、可配EBR&BSR功能
适用圆片尺寸: 2”、3”、4”;以及5x5,10x10,25x25方片
2.1.3工艺工步:放置圆片(可辅助定中心)    启动    防溅罩到上位    真空吸片   防尘帽闭合   电机启动    吹氮气    低速滴胶    加速、高速匀胶     上刮边    下刮边
电机停止    防尘帽开启    防溅帽到下位    去真空、卸片(工艺结束)以上各工步流程为自动执行,其中防尘帽、防溅帽、真空具有手动功能;
2.1.4主轴径向跳动≤0.02mm,轴向窜动≤0.04mm;
2.1.5主轴转速:200~7000转/分,误差±20转/分,连续可调;
2.1.6主轴加速度(空载):0~3×10³rad/秒²,连续可调; 
2.1.7工艺工步时间:0~999.9秒,设定增量±0.1秒;
2.1.8胶泵最大排出量:80立方厘米,滴胶量和速度可调;
2.1.9适用胶液粘度范围:-4~10000 厘施;
2.2主要指标检测方法;
2.2.1主轴径向跳动及轴向窜动用百分表检查;
2.2.2主轴转速用转速表检测,主轴加速度用记忆示波器检测;
2.2.3两头滴胶量应基本一致,用目测无明显差异;
2.2.4各气路、液路应密封可靠,无泄露现象;
2.2.5操作、观察各机械、电器操作件及按键应灵活可靠,各显示应准确无误;
2.2.6外观目视应平整、光滑,表面涂层不允许有脱落、破损等情况;
2.2.7 设备干运行16小时,湿运行16小时(转速3500r/m)。结束后取下四氟密封套观察其磨损情况。如有磨损应及时检查原因并进行更换。
2.2.8接地可靠。
3.设备使用条件;
该设备在满足下列条件下应能正常工作。
3.1电源条件:AC 220伏±10%,50赫,>500瓦;
3.2氮气条件:压强≥0.4兆帕,纯度≥99.99%;
3.3真空条件:抽气量≥120立方分米/分,真空度≤-0.085MPa 
3.4排风条件:排风量≥2立方米/分,压强≥124帕;
4.试车与验收; 
4.1机器装配完毕后,应按本技术条件要求进行检验,合格后方可进行空负荷试车。
4.2空负荷试车:干运行连续8小时,试车期间无故障,无误动作;湿运行连续8小时,试车期间无故障,无误动作。
5.负荷试车;
5.1用2”、3”或4”硅圆片,按工艺工步(或使用厂家相似工艺)进行匀胶,并检查匀胶质量,其胶膜不均匀性不大于总膜厚的0.2%;
5.2匀胶片数应不少于50片,其相对膜层厚度误差不大于100 Å。
6.包装与运输;
6.1本机装箱分主机箱与附件箱,主机箱为厂标准D型箱,应符合“ZF0510-89产品包装标准”规定。
6.2主机与箱底板连接之间加30mm中硬橡胶板,以便减震。
6.3运输包装标志按“GB191-85”规定,标上“小心轻放”、“向上”、“怕潮”等标志