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弯月牙涂胶机(狭缝式涂布机-Slot Die Coater)
弯月牙涂胶机---狭缝涂胶机

用途:主要用于光阻涂胶工艺,原理是借用于液体的涨力原理进行弯月牙涂胶,主要装置就液刀口溢出的光阻涂布在基板表面。

一、产品使用范围:                                                                                                                                         
    弯月牙涂胶基板尺寸:1400 mm×420 mm×200 mm);
    液体胶刀的有效尺寸为:420mm:
二、设备概述:                                                                                                                                           
    此胶狭缝系统包括供胶系统、精密胶刀、平面度调节机构、胶盒移动等部件组成。
    1 供胶系统:伺服电机带动磁力泵供给胶刀,回流过滤循环供给,胶泵采购进口压力流量可调的磁力泵。

    2 精密胶刀:
       胶刀出液狭缝可调,可适应100CP-200CP的光阻药液。同时出液的高度(0.15-0.25mm)通过调整泵的

       供压力及狭缝配合来调。
    3 平面度调节机构
       胶刀与胶盒的平行度可通过胶盒内的螺钉进行调平,胶刀与连接平面也可调整,胶刀与基板的平面通过机

       械方式也可调整。
    4 利用电磁阀及气缸来实现胶盒盖的上下、左右方向的移动。
三、设备控制设计:                                                                                                                                     
    1.供泵系统胶泵为伺服电机,胶泵的压力、流速通过调节电机的转速控制。
    2.胶盒盖通过气缸控制+电磁阀(气缸都装有上下,左右位置检测传感器)。
    3.基板移动加有接近开关(主要用于检测基板是否移过)。