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产品详情
全自动剥离机-AUTO LIFT OFF
主要特点:
线性布局,自动传片,自动完成去胶工艺。
晶圆尺寸根据用户需求。
腔体共有三层,每层都有单独的药液排放 循环功能。
清洗多种金属颗粒和有机物残留。
药液在循环中,根据颗粒大小配备相应过滤系统。
药液恒温,或在线加热供给功能。
A:适应的药液有以下几种:
一、NMP液体--高温高压
二、DMSO液体--高温高压
三、IPA液体
四、DI-water
B、功能选择:
片盒到片盒
进口机械手
CHAMBER采用耐酸碱材质
分层药液排放,省液,提供了生产率
自动供液、补液。