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爱姆加公司经过多年的研发及试验,针对于方形基片及异形基片有自己的涂布方式,同时旋涂后的均匀性指标直径在200mm范围内的晶片,均匀性指标基本在2%之内,以下我公司针对异形基片涂布前的分析仿真图:
以下是针对此基片的涂布效果的测量数据图: