欢迎您来到爱姆加电子设备有限公司官网,我们将竭诚为您服务

服务电话:029-83627399

爱姆加电子设备
匀胶显影蚀刻专业生产商



诚信创新
专业
精工
专注成就品质,品质塑造未来!
Focus on the achievement of quality, quality to shape the future!
HOT Plate热板烘烤
来源: | 作者:pmoe2a7d5 | 发布时间: 2020-03-27 | 193 次浏览 | 分享到:
对于大批量生产的用的匀胶显影机的OVEN单元,为什么在硅晶圆等基片与热板是非接触的,这样的设计的理念是有一定的科学依据的,热的传递方式无非就三种:传导、辐射、对流等方式,非接触正好实现了最后两种科学经验,对于热板的均匀性有大大的提高,所以对晶圆的烘烤均匀性更好!