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主要特点：线性布局，自动传片，自动完成去胶工艺。晶圆尺寸根据用户需求。腔体共有三层，每层都有单独的药液排放 循环功能。清洗多种金属颗粒和有机物残留。药液在循环中，根据颗粒大小配备相应过滤系统。药液恒温，或在线加热供给功能。
一、适应的药液有以下几种： NMP液体--高温高压DMSO液体--高温高压IPA液体DI-water二、功能选择： 片盒到片盒进口机械手CHAMBER采用耐酸碱材质分层药液排放，省液，提供了生产率自动供液、补液。
一、适应的药液有以下几种：
NMP液体--高温高压DMSO液体--高温高压IPA液体DI-water
NMP液体--高温高压
DMSO液体--高温高压
IPA液体
DI-water
二、功能选择：
片盒到片盒进口机械手CHAMBER采用耐酸碱材质分层药液排放，省液，提供了生产率自动供液、补液。
片盒到片盒
进口机械手
CHAMBER采用耐酸碱材质
分层药液排放，省液，提供了生产率
自动供液、补液。
