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方形基片的边缘清洗,采用二流体与发生器的原理实现液体的回收
产品特点: 方形基片的边缘清洗边缘区域:1-20mm基片厚度要求:0.5-20mm自动对准边缘尺寸液体喷嘴数量可选可增配
产品特点:
方形基片的边缘清洗
边缘区域:1-20mm
基片厚度要求:0.5-20mm
自动对准边缘尺寸
液体喷嘴数量可选可增配