主要组成部分：

该设备主要由主轴单元、显影液供给系统（附加恒温装置）、清洗系统、控制系统等组成，

采用框架结构，外表为不锈钢镜面护板，无发尘量且不吸浮尘颗粒，工作方式为手动上下片，

自动完成显影、清洗、（氮气吹干）等工艺。

SPIN DEV UNIT 显影单元参数：　　　

SPIN MOTOR 离心机
额定转速（德国电机）： 0～5000rpm
转速调整量：   　   1rpm
转速精度：       ±1rpm（500~300rpm）
加速度：           20000rpm/s
加速度调整量：  　 1RPM/S
承片台(chuck)
材料：　　　     防静电PEEK材质(两个)与
晶片接触方式 ：　　 真空吸附
吸附真空度检测： 　 数显压力传感器