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匀胶显影机用机械手
作者:管理员    发布于:2019-09-04 19:42:29    文字:【】【】【
摘要:匀胶显影机用机械手装置的制作方法 技术领域: 本实用新型涉及轨道式匀胶/显影机中晶片的转移机构,具体为一种匀胶显影机用机械手装置。
背景技术:
     轨道式匀胶/显影机是线性模块配置的全自动设备,任意两个相邻模块之间都需要一个晶片的转移机构,所以晶片的模块间准确快速传送就显得格外重要。为了实现不同模块之间晶片的平稳转移和取放,一个简易机械手的开发显得尤为重要。该机械手应该能完成左右旋转和上下升降两个功能,结构简单而可靠,同时造价较低,并能实现完全的国产化。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种匀胶显影机用机械手装置,该机械手结构简单可靠而又合理,操作维修非常方便,且造价较低。
本实用新型的技术方案是胶显影机用机械手装置,包括主轴、套筒、大齿轮I、大齿轮II、底板、机械手、小齿轮I、支座、小齿轮II、升降电机、旋转电机;主轴外侧设有套筒,小齿轮II由旋转电机驱动,小齿轮II与大齿轮I通过皮带传动,大齿轮I通过连接部件与套筒固定,套筒上端与底板相连,主轴上部穿过底板,大齿轮II与主轴上部连接,支座置于底板上,大齿轮II与主轴上部连接,支座置于底板上,小齿轮I置于支座上,与机械手通过连接部件连接的小齿轮I与大齿轮II之间通过皮带传动。
所述皮带上下可以设有张紧轮;所述支座内开有与真空管、机械手相通的通道,主轴为中空轴,需要传送的晶片置于机械手上表面,通过真空吸附装置、主轴、真空管、支座,从机械手底部将晶片吸附于机械手上表面。
所述支座为“⊥”形,其内通道为“」”形,小齿轮I与“⊥”形支座的竖向通过轴承配合。
本实用新型丝杠与升降电机连接,丝杠穿过提升板,与提升板螺纹传动配合;同时,主轴、导向杆穿过提升板,形成对提升板的三点定位。
本实用新型位置检测开关安装在提升板上,与位于提升板右侧的极限位检测片配合完成机械手上下位的检测。
本实用新型旋转电机和升降电机可以为同步电机。
本实用新型的优点及有益效果是1、本实用新型晶片在机械手上放置的中心点总是在一条直线上运动,且移动距离可调。
2、本实用新型机械手配有真空吸附,辅助晶片定位,确保晶片在移动中不发生偏移。
3、本实用新型机械手的上下移动和左右旋转均由步进马达实现,靠脉冲个数的给定来实现准确的重复定位精度。
4、本实用新型可以拥有良好的人机交互界面,对机械手进行监控。
5、本实用新型结构简单可靠而又合理,操作维修非常方便,且造价较低,全部成本在4000元左右。