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钢带光栅匀胶机
作者:管理员    发布于:2019-07-30 21:51:40    文字:【】【】【
摘要:此设备适应长条钢带光栅的光阻涂布工艺,也叫做钢带光栅的匀胶机

  一、产品描述:

此涂胶机设备,及匀胶机的涂布工艺是通过液体的涨力特性实现,先前国处的麻森理工大学将此装置主要用于军工的科研涂胶工艺,国外主要是用于大尺寸的K9玻璃的涂胶工艺,因为大尺寸的玻璃、超重量的基板很难用旋转工艺实现,所以就采用此装置 ,此设备主要用于涂布较薄光阻工艺,一般不会超过1微米厚的光阻。

二、特点: 

1、相对于旋转涂胶工艺的话,在工艺方面还是不如SPINcoater涂布工艺好;

2、但对于光阻的提拉涂胶工艺是完全优于的,也省光阻、减少工艺工序;

3、目前国内比较普遍使用的是刮涂涂胶工艺,刮涂的工艺对光阻的成膜水平不高,对于光栅可能也到了极限;

4、钢带光栅涂胶设备省光阻.

三、重要指标:

1、大尺寸、超重理的K9玻璃涂胶工艺就可以实现

2、光阻的适应范围有限,光刻胶的成膜是均匀性在+/-3%左右(相对于CP值低于15CP的光阻);

3、长度方面没有限制,尤其是钢带的长度,宽度方面不益过长。